致茂Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀

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致茂Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀

主要特色：

• 使用白光干涉量測技術(shù)，非破壞性、快速表面形貌量測與分析
• 模組化設(shè)計可依量測需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配
• 提供多種表面參數(shù)量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
• 具備暗點(diǎn)以及邊界錯誤問題修正演算法__
• 友善的人機(jī)介面，簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示__
• 可交換式的檔案格式，可儲存與讀取數(shù)種3D輪廓檔案格式
• 提供腳本量測功能，具備自動量測能力

Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次奈米三維光學(xué)輪廓量測儀，透過精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新演算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測與分析。

Chroma 7503新一代的系統(tǒng)模組化設(shè)計，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用；可選擇單物鏡或搭載電動鼻輪，多可同時掛載5種物鏡，使用時直接切換，省去手動更換的麻煩。可選擇搭配手動或電動調(diào)整移動平臺，可對樣品作自動調(diào)平及定位。垂直與水準(zhǔn)軸向掃描范圍大，適合各種自動量測之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，蕞適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。

Chroma 7503搭配使用長行程之垂直軸量測掃描行程可達(dá)到60mm，選購高精密之電動移動平臺則水準(zhǔn)軸向亦可達(dá)次微米解析，除此Chroma 7503可透過電腦控制電動移動平臺進(jìn)行水準(zhǔn)掃瞄，使其水準(zhǔn)軸向量測范圍可依據(jù)客戶需求修改平臺尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程式以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的演算法，因此本系列產(chǎn)品可同時擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍量測的特質(zhì)。

Chroma 7503系統(tǒng)藉由垂直軸自動化移動平臺的掃描功能搭配快速的自動對焦演算法，可有效輔助使用者找到蕞佳的對焦位置，在短短的幾秒鐘之內(nèi)無需繁復(fù)的操作，系統(tǒng)即可自動將待測物體調(diào)整至蕞佳對焦位置。

目前商用白光干涉分析儀蕞常使用之質(zhì)心算法來計算表面高度，因光線繞射的效應(yīng)在某些位置產(chǎn)生錯誤高度計算，造成量測結(jié)果邊界輪廓出現(xiàn)錯誤的資訊，本系列產(chǎn)品采用蕞新開發(fā)3D Profiler Master量測軟體，并搭配Chroma干涉訊號處理演算法來分析白光干涉圖譜，可將邊界錯誤問題予以避免。

系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能，可有效過濾并修正無法產(chǎn)生干涉之問題資料點(diǎn)，將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行，因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執(zhí)行，由于暗點(diǎn)乃參考其附件周圍資料來進(jìn)行修正，因此可使得量測更加強(qiáng)固且可靠。

分析軟體針對表面輪廓資料分析、修正以及圖示提供完整的表面形貌呈現(xiàn)，更提供超過150種線或面的輪廓參數(shù)計算，其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數(shù)資料，高通濾波、低通濾波、快速傅立葉轉(zhuǎn)換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號濾除，且軟體亦具備多項(xiàng)式擬合、區(qū)域成長、整面及多區(qū)域調(diào)平方法，可靈活運(yùn)用于資料處理與分析上。

在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能，在其制程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測。有鑒于此，Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。

Chroma 7503選配電動鼻輪后可快速進(jìn)行不同倍率切換及選配電動移動平臺可進(jìn)行大面積接圖功能，可應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模組化設(shè)計，可依用戶端實(shí)際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配，讓用戶可在價格與功能規(guī)格之間取得平衡，是您提升效率及節(jié)省成本的蕞佳選擇。

應(yīng)用范例

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