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泰克6430亞FA程控源表

產(chǎn)品簡介

泰克6430亞FA程控源表
適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計
適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計
從三個敏感選項中選擇,實現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測量。5½ 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度,輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量,以及低至 10fC 的電

產(chǎn)品型號:6430
更新時間:2024-11-26
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:780
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品牌泰克產(chǎn)地類別進口
應用領(lǐng)域電子

泰克6430亞FA程控源表

6430亞fA程控源表集合了吉時利源表 和源測量單元(SMU)產(chǎn)品的電壓源和電流 源及測量功能,比靜電計靈敏度更高,噪 聲更低,輸入阻抗更高。這種*的性能 是通過6430遠端前置放大器實現(xiàn)的,它提 供非常靈敏的雙向放大器,用于測量或產(chǎn) 生被測試器件的電流。遠端前置放大器輸 出的高電平信號通過一條2米長的線纜發(fā) 送到控制主機上。這使得用戶可以直接, 或者近距離連接該信號,減少線纜噪聲 的影響。

主要特點:

  • 0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
  • 遠端前置放大器可以位于信號源處以減少線纜噪聲
  • 電壓測量的輸入阻抗>1016Ω
  • 高速——達2000讀數(shù)/秒
  • 分辨率達6位半
  • 快速元件特性分析,帶可編程數(shù)字I/O和接口

6430按照靜電計無法達到的速度測量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測量讀數(shù),讀入內(nèi)部存儲器中。 可以測量快速小電流,100nA量程可響應 短至5ms的信號,較大量程可響應幾百微 秒的信號。

6430的*特點包括其優(yōu)秀的低電 流靈敏度和遠端前置放大器,這通過避 免長輸入線纜發(fā)揮了靈敏度的作用。遠 端前置放大器是6430反饋測量系統(tǒng)的主 要部分,雖然通過長達2米,帶載高電平 信號的連接線纜它能離開主機一段距離 但是它不能獨立于測量主機工作。

應用

6430的功能使其同樣適于在測試實 驗室的研究工作和復雜元件的評估,結(jié) 合其它源測量儀器或SMU用于在較高電平 上進行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導體測量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。

高速數(shù)據(jù)處理

6430能以超過2000個讀數(shù)/秒的速度 讀至其內(nèi)存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發(fā)送達75個源/測量讀數(shù)至外部計算 機控制器,包括通過/失效指示。

6430能提供達2.2W的4象限源, 以及低至亞fA和微伏電平的測量 靈敏度。在高達20V,它能測量從 1pA量程(僅0.4fA峰峰值噪聲)至 100mA量程的電流??商峁?00mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設(shè)置定義了源或阱電壓或電流的 大值。

典型應用:

半導體測量

基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會在 MOSFET、FET、模擬開關(guān)和許 多其它電路中產(chǎn)生誤差。通 過允許研究人員測量極低電 平的電流和電壓,6430能幫 助他們了解這些元件的設(shè)計 局限以及研究替代器件的結(jié) 構(gòu)或材料。

測量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有的優(yōu)秀低電流測量能力(<0.4fA峰峰值)使其對于單電子晶體管 (SET)和量子點研究非常有用。使用類似于鎖定的技術(shù),6430能以1aA靈敏度測量 電流(10–18A=6電子/秒)。

測量行業(yè)的低噪聲和漂移

下圖的數(shù)據(jù)表明6430在5小時期間內(nèi)穩(wěn)定性非常突出,而且短期的低噪聲性能 優(yōu)秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時間在1pA量程上實現(xiàn)微弱信號采集。插 圖中的細節(jié)是濾波信號的截圖,顯示了6430型在開始的100秒期間的低噪聲性能 (僅200aA峰峰值)。在溫度變化約1°C的實驗室環(huán)境下提取數(shù)據(jù),其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護罩。

泰克6430亞FA程控源表

 

濃縮的測量指標1

電壓測量準確度(4線感測)3


溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準確度)/°C。附加的測量指標

附加的測量指標

輸出建立時間(典型值為終值的10%):<2s,1pA和10pA量程;<50ms,100pA 至10nA量程;<5ms,100nA至100mA量程。
電流噪聲:在1分鐘間隔觀察時,90%的間隔中峰峰值噪聲在400aA以內(nèi), 在使用Autofilter(5s 10% -90%的上升時間),使用三同軸連接器防護 罩,Autozero OFF、Source Delay=0,使用1pA量程至少3分鐘的條件下。

電流測量準確度(2線或4線感測)4

溫度系數(shù)(0°C-18°C & 28°C-40°C):±[(0.15×規(guī)定的準確度)+1fA]/°C。
輸入電流:<3fA@23°C,<40%相對濕度;通常為±0.5fA/°C在23°C左右,<40% 相對濕度。

電阻測量準確度(4線感測帶遠端前置放大器)

輸出電流模式,自動電阻

溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準確度)/°C。
輸出電流模式,手動電阻:不確定度總和=電流輸出準確度+電壓測量準確度 (四線測量)。
輸出電壓模式:不確定度總和=電壓輸出準確度+電流測量準確度(四線測 量)。
6線電阻模式:可使用有源電阻防護和防護檢測(僅主機后面板)。防護輸出 電流大值:50mA。準確度取決于負載。查閱手冊獲取計算公式。
主機防護輸出電阻:0.1Ω,電阻模式。

注解:

1.速度=10PLC,Autofilter ON,正確歸零和穩(wěn)定。
2.輸出電流模式,I=0。
3.電壓測量準確度不受遠端前置放大器的影響。
4.電流測量準確度不受遠端前置放大器影響;然而,1pA~100nA量程僅當 使用前置放大器時可用。
5.四線模式。
6.僅手動電阻模式。
7.激活源回讀,失調(diào)補償開。源時延必須設(shè)置為使源*穩(wěn)定才能讀數(shù)。

濃縮的系統(tǒng)速度

測量1

量程變化速度的大值:75/s。
單讀數(shù)工作模式的讀速度(讀數(shù)/秒),在60Hz(50Hz)條件下:

濃縮的源指標4

電壓設(shè)置準確度(4線感測)5

溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準確度)/°C。
大輸出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱極限:±21V@±105mA,±210V@±10.5mA。
電壓調(diào)整率:線路調(diào)整率:量程的0.01%。負載調(diào)整率:量程的0.01%+100μV。
噪聲10Hz~1MHz(峰峰值):10mV。
過壓保護:用戶可選擇,5%公差。工廠缺省為None。
電流鉗制:雙極性電流極限(容限)設(shè)為一個值。量程的0.1%(小值)。

電流設(shè)置準確度(帶遠端前置放大器)

溫度系數(shù)(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×規(guī)定的準確度)/°C。
大輸出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱極限:±10.5mA@±210V,±105mA@±21V。
電流調(diào)整率:線路調(diào)整率:量程的0.01%。負載調(diào)整率:量程的0.01%+1fA。
電壓極限:雙極性電壓極限(容限)設(shè)為一個值。量程的0.1%(小值)。

注解:

1.讀數(shù)速率可用于電壓或電流測量。關(guān)閉自穩(wěn)零,關(guān)閉自動量程,關(guān) 閉濾波器,關(guān)閉顯示,觸發(fā)延時=0,源自動清空,并且采用二進制讀 數(shù)格式。
2.采用上限和數(shù)學下限進行通過/失效測試。
3.包含測量之前重新設(shè)置源至新電平的時間。
4.對于阱模式,1pA~100mA量程,準確度是±(0.15%+偏移*4)。
5.電壓源準確度不受遠端前置放大器的影響。

綜合說明


負載阻抗:穩(wěn)定至20000pF在100mA至100μA量程,470pF在10μA和1μA量 程,以及100pF在nA和pA量程。查閱用戶手冊獲取大電容性負載測量的 詳細說明。
共模電壓:±42VDC大值。
共模隔離:>109Ω,<1000pF。
過量程:量程的105%,源和測量。
輸入/輸出與測量端子之間的大壓降:5V。(為滿足規(guī)定的準確度用4線測 量,請參閱用戶手冊。)
測試線電阻大值:10Ω,對于額定準確度。
測試輸入電阻:1MΩ。
主機防護偏置電壓:300μV,典型值。
前置放大器防護偏置電壓:1mV典型值。
前置放大器防護輸出電阻:110kΩ。
源輸出模式:固定直流電平,內(nèi)存列表(混合功能),階梯波掃描(線性和 對數(shù))。
源內(nèi)存列表:100點(大值)。
內(nèi)存緩沖區(qū):5,000個讀數(shù)/秒@5位半(2個2,500點緩沖區(qū))。包括所選的測 量值和時間戳。鋰電池備份(電池壽命超過3年)。
數(shù)字接口:
安全互鎖:有源低電平輸入:
處理程序接口:測試開始,測試結(jié)束,3類比特。+5V@300mA電源。
數(shù)字I/O:1觸發(fā)輸入、4 TTL/繼電器驅(qū)動輸出(33V@500mA阱、二極管鉗 位)。
可編程性:IEEE-488(SCPI-1995.0),RS-232,5種用戶定義的上電狀態(tài)加上 出廠缺省設(shè)置和*RST。
電源:100V~240V有效值,50Hz~60Hz(上電時自動檢測),100VA大值。
EMC:符合歐盟指令89/336/EEC EN 55011,EN 50082-1,EN 61000-3-2和 61000-3-3,F(xiàn)CC第15部分Class B。
安全性:符合歐盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振動:MIL-PRF-28800F,Class 3。
預熱時間:1小時達到額定準確度。
規(guī)格:89mm高×213mm寬×370mm深(3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in)。
測試臺尺寸配置(帶手柄和支腳):104mm高×238mm寬×370mm深(4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in)。
放大器:20mm高×57mm寬×97mm深(0.783 in×2.225 in×3.75 in)。
重量:5.9公斤(13磅)。
工作環(huán)境:工作條件:0°~40°C,60%相對濕度(不凝結(jié))至35°C。在 35°~40°C范圍內(nèi),相對濕度降低5%/°C。存儲條件:–25°C~65°C,不凝 結(jié)的濕度。

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